人工生成臭氧的主要方法有：紫外线法、电解法、放射性辐射法及电晕法（无声放电法）等几种。紫外线法较为简单，但是浓度较低，消耗电力为电晕法的几十倍；电解法虽可提高浓度，但耗电量仍然很大，放射性辐射防护要求严格。所以从安全、经济、实用角度考虑，目前小型臭氧发生器均采用电晕法产生臭氧。所谓电晕法，在两电极间，放入一介电体，并送入交流高压电，在其间隙会有紫色光辉产生，而有臭氧之生成。

 电晕法产生臭氧与雷电产生臭氧原理相同，区别仅在于放电时没有声音，所以有的又称无声放电法。臭氧系列产品便是以无声放电法产生臭氧，不仅效率高而且不会产生氮氧化物。

   电晕法分为平行板式、玻璃管式、滑轮式三种方式。平行板式按介电体分为玻璃管式、陶瓷表面式：按电极形式又可分为网状电极式及管状电极式。这里我们仅以平行板式为例说明其工作原理。在两平行板之间加上交变的高压电源，两极板之间放置玻璃或陶瓷等介电体，当交变高压电作用两极时，极板间将发生放电现象，此时放电空间流动的氧气在放电作用下发生分解反应，出现游离的氧原—子，氧原子再与氧气反应生成臭氧。